查看12納米電路需要多少倍顯微鏡？光學顯微鏡能看到嗎？
顯微鏡用途廣泛，它把一個全新的世界展現(xiàn)在人類的視野里，下面小編為大家介紹查看12納米電路需要多少倍顯微鏡？光學顯微鏡能看到嗎？ 查看12納米電路需要用多少倍顯微鏡？考慮
顯微鏡用途廣泛，它把一個全新的世界展現(xiàn)在人類的視野里，下面小編為大家介紹查看12納米電路需要多少倍顯微鏡？光學顯微鏡能看到嗎？
查看12納米電路需要用多少倍顯微鏡？
考慮衍射極限，即由于衍射的限制，不可能得到理想像點，而是得到一個夫朗和費衍射像，所導致的分辨率極限：
sinθ=1.22λ/D
其中θ是角分辨率，λ是波長，D是光圈直徑。由公式可以輕易看出，最終的分辨率和光的波長在一個量級。對于光學顯微鏡，一般在可見光波段工作，波長為400nm ~ 700nm。這時，其分辨率就幾乎不可能達到200nm以下，也就不可能看清楚12nm的電路。
因此，我們需要一個波長非常短的波，以達到更好的分辨率。這時候，就考慮到了電子，和其由波粒二象性產(chǎn)生的物質波。
由物質波公式：
λ=h/p； f=ε/h
只要動量足夠大，就可以輕易地獲得波長足夠短的電子。當加速電壓為50～100kV時，電子束波長約為0.0053～0.0037nm，這一數(shù)值已經(jīng)遠遠小于一般電磁波的波長。在這一加速電壓下，優(yōu)秀的電子顯微鏡可以輕易地達到0.3nm甚至更好的分辨率。
因此，通常不會使用光學顯微鏡來看芯片中的電路，因為根本看不清。取而代之的是，掃描電子顯微鏡（scanning electron microscopic）。掃描電子顯微鏡的電子束不穿過樣品，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導致樣本表面被激發(fā)出次級電子。顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子，通過放大后調制顯像管的電子束強度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度。
由于好的電子顯微鏡可以輕易地達到超過芯片制程很多的分辨率，因此拿來看芯片是很容易的。
